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公司名称：
FDP Series 单体式复合型PVD镀膜设备
FDP Series Batch-Type PVD Coater
FDP系列产品合用于各类状态和尺寸的工件产品的全覆盖真空镀膜 。该设备为单体腔室结构 ，配有旋转工件架系统 ，可实现公转、自转和行星旋转等三级旋转 ，可配置各类离子源、平衡/非平衡磁控阴极、阴极电弧、偏压系统等职能部件 ，可用于多种职能涂层技术的研发和幼批量出产 。
设备特点
沉积源工位设计尺度化 ，可通用互换 ，易实现多种组合
可实现离子预处置、磁控溅射、多弧离子镀等职能
优化的工件架设计 ，可合用各种类型的工件
技术指标
腔体尺寸
?700/800/900/1000/ 1200/1400mm
加热温度
≤600℃
装载量
40-50片（按500*180mm以内规格）
单炉功夫
90-120min
年产能
氢能双极板≥12万片
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