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等离子刻蚀设备 Etch
物理气相沉积设备 PVD
化学气相沉积设备 CVD
湿法设备 WET
立式炉管设备 Vertical Furnace
离子注入设备 Implant
急剧热处置设备 RTP
表延设备 EPI
利用领域
集成电路 IC
先进封装 Advanced Packaging
化合物半导体 Compound Semiconductor
新兴利用与科研领域设备 Emerging Applications and R&D
客户服务 Services
备品备件 Parts
产品系列
石墨纯化设备 Graphite purification Furnace
化学气相沉积工艺设备 CVD/CVI Furnace
陆续高温设备 Continuous high-temperature Furnace
烧结工艺设备 Sintering Furnace
先进热处置工艺设备 Heat Treatment Furnace
钎焊工艺设备 Brazing Furnace
物理气相沉积工艺设备 PVD Furnace
单晶炉设备 Single Crystal Growing Furnace
钕铁硼晶界扩散工艺设备 NdFeB grain boundary diffusion process equipment
锂离子电池极片造作设备 Li-ion Battery Electrode Manufacturing Equipment
利用领域
先进陶瓷 Advanced Ceramics
金属热处置 Metal heat treatment
碳材 Carbon material
真空电子元器件 Vacuum electronic components
复合集流体行业 Composite collector fluid Industry
氢能行业 Hydrogen Energy Industry
新能源光伏 Photovoltaic Industry
磁性资料行业 Magnetic materials Industry
锂电池极片电池造作 The Li-ion Battery Electrode Manufacturing
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晶体器件 Crystal Device
精密电阻器 Precision Resistor
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钽电容器 Tantalum Capacitor
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锂电池极片电池造作
碳材
由于半导体及光伏行业的发展，碳材需要量激增。和记H88开发出高温石墨化炉、CVD炉、石墨纯化炉、化学气相渗入炉、陆续石墨化炉，均已成功进入国内头部客户并得到认可与利用。
石墨纯化设备
Graphite purification Furnace
GP120
石墨纯化炉
化学气相沉积工艺设备
CVD/CVI Furnace
CVI330
化学气相沉积炉
陆续高温设备
Continuous high-temperature Furnace
VVK125.120
陆续高温石墨化炉
VVK50.55
陆续渗硅炉
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