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公司名称：
CVI330 化学气相沉积炉
CVI330 Chemical vapor deposition furnace
化学气相渗入注入工艺(CVI)是化学气相沉积(CVD)法的一种延长 ，是指将一种或几种烃类气体化合物经高温分化、缩聚之后炭沉积在多孔介质内部 ，使资料致密化的步骤 ，是新发展起来的造备无机资料新技术 ，该技术重要用于造备各类高温陶瓷基复合伙料 ，蕴含碳/碳复合伙料和以碳化物、氮化物为基质的资料 ，CVI设备重要利用于光伏辅材的碳纤维气体沉积 。
设备特点
多区控温 ，更优温度均匀性 ，可拓宽客户工艺需要
？榛Ｎ律杓 ，拥有较低的保温功率 ，降低能耗 ，助于发展低碳经济
通过仿照分析 ，设计合理的碳源分配系统 ，可满足客户多种产品工艺要求
自动内表室压差节造系统 ，提升设备靠得住性 ，耽搁热区使用寿命
更优的快冷系统设计 ，冷却效能更高 ，提逾越产效能
多级冷凝和过滤装置 ，提高设备不变性
技术指标
温度领域
≤1160℃
有效区
Φ3300×3800mm
温度均匀性
≤±10℃
分压
1000~10000Pa
压升率
50Pa/h
陆续运行功夫
≥350h
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