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12英寸槽式洗濯设备
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公司名称：
业务联系人：王龙
WE3102 12英寸槽式洗濯设备
WE3102 12 Inch Wet Bench Clean Tool
重要用于集成电路、新兴利用等领域12英寸洗濯工艺。选取？榛⒊叨然杓 ，满足客户多种工艺利用需要 ；集成多职能药液槽 ，刻蚀速度节造精准 ；利用先进的低压干燥技术 ，实现优良的干燥成效。
设备特点
可建设iCB多药液工艺槽 ，支持 DN unit, DIO3 等从属职能
软件量身定造 ，具备急剧更新能力
较高的温度节造不变性
超高的补水精度
精准的蚀刻速度节造
优良的干燥成效
产品利用
晶圆尺寸
12英寸
合用资料
光阻、单晶硅、多晶硅、氧化硅、氮化硅、金属膜、金属氧化物
合用工艺
炉前洗濯、刻蚀 / 抛光后洗濯、光阻去除、金属氧化物去除、氮化物去除、控挡片回收
合用领域
集成电路、新兴利用
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