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公司名称：
业务联系人：赵曾男
Bpure 立式/卧式管舟洗濯设备
Bpure Vertical/Horizontal Tube/Boat Clean System
重要用于集成电路、科延注化合物半导体等领域12英寸及以下尺寸的扩散、表延等设备的石英管/舟、碳化硅管的洗濯 。此表 ，也能够用于洗濯其它石英材质的零部件 ，如石英板、点火炮、保温桶等 。
设备特点
全自动洗濯 ，浸泡式洗濯与喷淋式洗濯工艺可选
一机多用 ，可兼容石英管/ 舟/ 工件洗濯
自主研发节造系统 ，敦睦的人机交互界面
自动配液系统 ，换酸便捷
分级安全互锁设置 ，确保设备安全靠得住
产品利用
晶圆尺寸
8、12英寸
合用资料
石英、碳化硅
合用工艺
石英管/ 舟、石英板、点火炮、基座等零部件浸泡式洗濯
合用领域
集成电路、科延注化合物半导体
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