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公司名称：
业务联系人：余峰
Sirius MC313 碳化硅离子注入机
Sirius MC313 SiC Implanter
Sirius MC313 SiC离子注入机重要用于6/8英寸SiC领域的掺杂工艺。该机台为单腔室单片式离子注入机 ，重要由高压仓？ ，光路？ ，靶室？楹痛邮羯璞傅茸槌。其中离子源重要针对固态源 ，配置高温注入职能。
设备特点
优越的均匀性节造能力
精准的角度及平行度节造
不变均匀的温度节造系统
产品利用
晶圆尺寸
6/8英寸
合用资料
碳化硅
合用工艺
阱注入 ，源漏注入 ，；せ纷⑷
合用领域
化合物半导体
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