Accura NZ 12英寸介质刻蚀机
Accura NZ 12 Inch Dielectric Etcher
机台重要利用于12英吋介质刻蚀尤其是深邃宽比介质刻蚀，典型的利用场景为3D NAND G5及以上深邃宽比channel hole刻蚀；ńㄉ璐蠊β实母咂怠⒌推瞪淦档缭，实此刻高档离子体密度的同时拥有极强的各向异性刻蚀能力；搭配边缘等离子体调节系统（PEA）、4-zone 磁场线圈，满足整个晶圆图案的垂直刻蚀一致性；多区静电卡盘氦冷系统、三区进气、tuning gas ？楸Ｕ峡淌戳司执锏浇细叩木刃。
- 设备特点
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- 产品利用
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- 晶圆尺寸
- 合用资料
- 合用工艺
- 合用领域
