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ELEDE? 380系列
图形化衬底刻蚀机
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公司名称：
业务联系人：杨雄
ELEDE? 380系列 图形化衬底刻蚀机
ELEDE? 380系列 Patterned Substrate Etcher
图形化衬底刻蚀机是利用于LED蓝宝石衬底刻蚀工艺的等离子体干法刻蚀机，配置双反映腔、托盘式、多片Tray in Tray out全自作为业 。设备合用于Mini LED、Micro LED多种衬底刻蚀，覆盖PSS、NPSS、CPSS刻蚀工艺 。
设备特点
怪异的等离子体源设计，高选择比
多片托盘式作业，高产能
刻蚀速度快，侧壁角度直
温度梯度设计，优良的颗＝谠炷芰
搭配自动传输系统，自动化、智能化
产品利用
晶圆尺寸
4/6英寸及特殊尺寸
合用领域
LED照明、新型显示
合用工艺
PSS、NPSS、CPSS等
合用资料
Al?O?、SiO?
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