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半导体设备 Semiconductor
BMD P300系列
12英寸微波等离子体表表处置系统
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公司名称：
业务联系人：马学猛
BMD P300系列 12英寸微波等离子体表表处置系统
BMD P300系列 Descum
BMD P300 是基于微波等离子体技术研发的表表处置设备，兼容8/12英寸晶圆，最多可配置3个腔室，6个反映台 ；诓槐淇康米〉奈⒉ǖ壤胱幼爸，优良的双反映台硬件设计，为先进封装领域的表表处置当用提供机能卓越、兼容性良好的解决规划 。BMD P300 重要合用于封装领域去除PR、PI、PBO、Release layer等去胶及金属离子去除利用 。
设备特点
8/12寸兼容，双片位Twins腔结构设计
高密度、低危险等离子体设计
更高的WPH及翘曲兼容能力
具备高刻蚀速度、宽工艺窗口、优异刻蚀均匀性及水滴角处置能力
产品利用
晶圆尺寸
8/12英寸兼容或380mm Frame
合用领域
先进封装
合用资料
PR. PI, PBO, BCB 等
合用工艺
等离子体表表处置、残渣去除，金属离子去除
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