Polaris 系列 8英寸通用物理气相沉积系统
Polaris 系列 8 Inch General PVD System
Polaris 系列PVD金属薄膜物理气相沉积系统重要由真空传输平台，去气腔室，预清洁腔室和工艺腔室组成，设备选取Cluster Tool架构，可配置多个工艺腔室、预洗濯腔室和去气腔室，合用于科研领域。Polaris 系列PVD为全自动大产能设备，拥有wafer自动传输，工艺去气，晶片表表预清洁、薄膜沉积齐全自动化等特点。
- 设备特点
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- 产品利用
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- 晶圆尺寸
- 合用工艺
